Polerowanie obróbki węglika krzemu
Obecnie metody polerowania węglika krzemu obejmują głównie: polerowanie mechaniczne, polerowanie magnetoreologiczne, chemiczne polerowanie mechaniczne (CMP), polerowanie elektrochemiczne (ECMP), polerowanie wspomagane katalizatorem lub trawienie wspomagane katalitycznie (CACP / CARE) oraz polerowanie tribochemiczne (TCP ). , znany również jako polerowanie nieścierne i polerowanie plazmowe (PAP).
Technologia chemicznego polerowania mechanicznego (CMP) jest obecnie ważnym sposobem przetwarzania półprzewodników, a także najbardziej efektywnym procesem przetwarzania powierzchni monokrystalicznego krzemu do poziomu atomowego. Jest to jedyny praktyczny sposób na osiągnięcie lokalnej i globalnej planaryzacji jednocześnie w tym procesie. technologia.
Wydajność przetwarzania CMP zależy głównie od szybkości reakcji chemicznej powierzchni przedmiotu obrabianego. Dzięki badaniu wpływu parametrów procesu na szybkość polerowania materiałów SiC wyniki pokazują, że wpływ prędkości obrotowej i ciśnienia polerowania jest duży; temperatura i wartość pH roztworu polerującego mają niewielki wpływ. Aby zwiększyć szybkość polerowania materiału, prędkość obrotową należy maksymalnie zwiększyć. Chociaż nacisk polerowania jest zwiększany w celu zwiększenia szybkości usuwania, podkładka polerska łatwo ulega uszkodzeniu.
Obecna metoda polerowania z węglika krzemu ma problemy z niską szybkością usuwania materiału i wysokimi kosztami, a metody przetwarzania, takie jak polerowanie ziaren ściernych i katalityczne przetwarzanie pomocnicze, są nadal w laboratorium ze względu na trudne warunki i skomplikowaną pracę urządzenia. Realizacja masowej produkcji jest mało prawdopodobna.
Po raz pierwszy w 1905 roku ludzie odkryli węglik krzemu w meteorytach. Teraz głównie ze sztucznej syntezy węglik krzemu ma wiele zastosowań. Ma dużą rozpiętość i może być stosowany w słonecznym przemyśle fotowoltaicznym, takim jak krzem monokrystaliczny, krzem polikrystaliczny, arsenek potasu, kryształ kwarcu itp. Przemysł półprzewodników, piezoelektryczny przemysł inżynierii materiałów przetwarzających
